Hochvakuum - Reparaturen

Die Vorpumpenwerkstatt und die Werkstatt für Hochvakuumpumpen sind räumlich getrennt, um eine Kontamination des UHV-Bereiches durch Kohlenwasserstoffe auszuschließen.
 

Professionelle Reparatur von:

Aufzählung Turbomolekularpumpen
Aufzählung Kryopumpen
Aufzählung Ionengetterpumpen (IGP)
Aufzählung He-Lecksuchgeräten
Aufzählung Messgeräten und Messzellen
Aufzählung Antriebselektronik von Turbomolekularpumpen


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